Kustannukset uuden strippaus järjestelmiä on kärjistynyt kohtuutonta tasolle. Trion on ratkaistu tämä kriittinen ongelma. Apollo plasma puhdistusjärjestelmä on kompakti, edullinen ja monipuolinen järjestelmä, joka pystyy käsittelemään 100-300mm kiekkoja. Käyttämällä joko ICP tai mikroaaltouuni ja RF bias virtaa tarpeen, vaikeasti poistettavia kerroksia vastustaa voidaan poistaa alhaisissa lämpötiloissa. Kuten soveltamalla, tämä järjestelmä voi sisällyttää SST-Lightning mikroaaltouuni lähde (joka on sekä luotettavaa ja vapaa tyypillinen mikroaaltouuni Tuning ongelmia) tai ICP-tekniikkaa.
Tekniset
- Etch on jopa 6ìm/min
- 100mm ja 300mm kiekot
- Suurikapasiteettisten
- Pienikokoinen
- Matala plasman vahinkoja
- Kilpailukykyisesti hinnoiteltuja
- Itsesäätelevä
Sovellukset
- MEMS
- Yhdistepuolijohteisiin
- Pilot Line Production.