ओरियन क्ष्क्ष्क्ष् प्लाज्मा बढ़ी रासायनिक भाप (PECVD) Trion टेक्नोलॉजीज से बयान प्रणाली एक कॉम्पैक्ट मंच पर उत्पादन गुणवत्ता फिल्मों पैदा करता है. अद्वितीय रिएक्टर डिजाइन उत्कृष्ट कदम कवरेज के साथ बहुत कम बिजली स्तरों पर कम तनाव फिल्मों पैदा करता है.
प्रणाली प्रयोगशाला और पायलट लाइन उत्पादन वातावरण के भीतर सभी सुरक्षा, सुविधा, और प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा करती है. ओरियन III के कई मानक सुविधाओं इतनी यथोचित मूल्य प्रणाली है, जो क्यों कई उपयोगकर्ताओं को दुनिया भर इसे अपनी पसंद के PECVD प्रणाली बना दिया है पर आम तौर पर नहीं मिला है.
ओरियन III PECVD प्रणाली के अनुप्रयोग
- MEMS के
- ठोस राज्य प्रकाश
- विफलता विश्लेषण
- अनुसंधान एवं विकास
- पायलट लाइन
ओरियन III PECVD सिस्टम की सुविधाएँ
- रिएक्टर
कैथोड और anode प्रत्येक एल्यूमीनियम का एक ब्लॉक के बाहर हैं machined. महत्वपूर्ण निरीक्षण के बाद प्रक्रिया chemistries से सुरक्षा के लिए वे कड़ी मेहनत anodized हैं. नीचे इलेक्ट्रोड या तो 200mm या 300mm आकार में उपलब्ध है और एकल वेफर्स, मर जाता है या भागों (2 "- 300mm) की प्रक्रिया कर सकते हैं प्रक्रिया गैसों चेंबर में पेश कर रहे हैं या तो एक कुंडलाकार अंगूठी या एक showerhead कई गुना द्वारा. - लोअर इलेक्ट्रोड
प्रणाली एक 300 वाट, 300Khz नीचे संचालित इलेक्ट्रोड के साथ आता है - टच स्क्रीन ऑपरेटर इंटरफ़ेस
टच स्क्रीन इंटरफेस के साथ एक रंग फ्लैट पैनल डिस्प्ले सभी समय पर पूरी प्रक्रिया की जानकारी के साथ ऑपरेटर प्रदान करता है. सॉफ्टवेयर इंटरफ़ेस प्रत्येक अनुक्रम के माध्यम से एक तार्किक फैशन में ऑपरेटर और गाइड सभी प्रक्रिया पैरामीटर की उंगलियों नियंत्रण देता है. - पीसी प्रक्रिया नियंत्रक
पीसी की प्रक्रिया सरल और विश्वसनीय प्रणाली नियंत्रण नियंत्रक प्रदान करता है. चित्रमय सॉफ्टवेयर पैकेज ब्लॉक आरेख के रूप में कार्यक्रम बनाता है. प्रक्रिया व्यंजनों हार्ड ड्राइव पर संग्रहीत कर रहे हैं या USB फ्लैश ड्राइव प्रत्येक ऑपरेटर व्यक्तिगत व्यंजनों बनाए रखने के लिए अनुमति देता है पर भंडारित किया जा सकता है. - एसी वितरण मॉड्यूल
एसी वितरण मॉड्यूल स्वचालित रूप से विभिन्न आंतरिक घटकों के लिए पूर्वनिर्धारित शक्ति मात्रा में वितरित करता है. जब बटन के बाहर इमरजेंसी पावर फिसल गया है, आरएफ शक्ति बंद है और गैस वितरण के साथ शामिल सभी वाल्व स्वचालित रूप से बंद कर दिया और मशीन शक्तियों एक सुरक्षित standby मोड के लिए नीचे. इस प्रणाली के मुख्य एसी और बाह्य उपकरणों के लिए अलग से बिजली नियंत्रण भी शामिल है. - स्वचालित दबाव नियंत्रण
हर Trion एक तितली दबाव नियंत्रण वाल्व सीधे प्रक्रिया नियंत्रक द्वारा संचालित प्रणाली शामिल है. यह स्वतंत्र दबाव सभी अन्य प्रसंस्करण मानकों से अलग नियंत्रण प्रदान करता है. - गैस वितरण प्रणाली
राज्य के अत्याधुनिक प्रौद्योगिकी के लिए अत्यंत अखंडता और पवित्रता सुनिश्चित करने के लिए उपयोग किया जाता है. प्रत्येक कक्ष प्रतिक्रिया आठ जन प्रवाह नियंत्रकों को accommodates और सभी नलसाजी सतह माउंट, सी मुहर प्रौद्योगिकी या कक्षीय वेल्डेड वीसीआर फिटिंग का इस्तेमाल. - सुरक्षा
प्रणाली SEMI_S2 93 सुरक्षा आवश्यकताओं को पूरा. प्रणाली मशीनरी निर्देशक 98/37/EC, नीची वोल्ट निर्देशक 73/23/EEC और CE चिह्नित आवश्यकताओं के लिए विद्युत चुम्बकीय संगतता निर्देशक 89/336/EEC के साथ CE अनुरूप है. एक तीसरे पक्ष के सुरक्षा की समीक्षा अनुरोध पर उपलब्ध है.